ECR pplasma Depposition Sysem의 제작과 특성 및 pplasma와 Diagnosis

• 손영호 (영남대학교) ;
• 배인호 (영남대학교) ;
• 박형국 (포항산업과학연구원) ;
• 박노길 (포항산업과학연구원) ;
• 손민규 (포항산업과학연구원) ;
• 정재인 (포항산업과학연구원) ;
• 김인수 (경운대학교) ;
• 황도원

• 발행 : 1999.02.01