Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ion Beam Assisted Evapporation (IBAE)을 이용한 저온 Indium Tin Oxide(ITO)박막의 특성연구

  • 김형종 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 오경희 (국립기술품질원 신뢰성과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords