Cu 박막의 특성개선을 위한 캐리어 가스의 영향과 플라즈마를 이용한 H2 ppretreatment 효과

  • 이종현 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 이정환 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 최시영 (경북대학교 전자·전기공학부)
  • Published : 1999.02.01

Abstract

Keywords