Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CF4 플라즈마 처리 DLC 필름의 표면 특성

  • 조성진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 은광용 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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