Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.02a
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Pages.105-105
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

오대현 (제주대학교 물리학과) ;
강민성 (제주대학교 물리학과) ;
오경숙 (제주대학교 물리학과) ;
이광만 (제주대학교 전자공학과) ;
변종철 (제주대학교 화학과) ;
황창용 (한국표준과학연구원 소재특성평가 센터부) ;
손정원

Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords