Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TiSiN 박막의 물성분석에 관한 연구

  • 최일상 (LG 반도체 중앙연구소 초정밀분석팀) ;
  • 최진태 (LG 반도체 중앙연구소 초정밀분석팀) ;
  • 윤상배 (LG 반도체 중앙연구소 초정밀분석팀) ;
  • 박주철 (LG 반도체 중앙연구소 초정밀분석팀) ;
  • 최홍민 (LG 반도체 중앙연구소 초정밀분석팀) ;
  • 오기영 (pprocess팀)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords