Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

표면분석용 인증표준물질의 개발 II : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

  • 김경중 (한국표준과학연구원 물질량표준부 표면분석그룹) ;
  • 문대원 (한국표준과학연구원 물질량표준부 표면분석그룹)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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