Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

MEICpp(magnetically enhanced inductively couppled)에 의한 RuO2 및 Ru 박막의 건식 식각 특성

  • 장제욱 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 한근조 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.02.01

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords