Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 asppect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구

  • 최영도 (한양대학교-안산 물리학과) ;
  • 김상진 (한양대학교-안산 물리학과) ;
  • 김곤호 (한양대학교-안산 물리학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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