Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유도결합 플라즈마(ICpp)의 E-H mode 전이 때 축전전기장과 유도전기장의 분포에 따른 플라즈마 특성비교

  • 이용관 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 장흥영 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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