Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 변수 제어에 관한 연구

  • 홍정인 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 서상훈 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 배근희 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 장흥영 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 윤남식 (한국기초과학연구소)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords