Internal Antenna를 이용한 Inductively Couppled pplasma내에서 발생된 이온의 존재비율 측정

• 조정희 (한양대학교 물리학과) ;
• 한승희 (한국과학기술 연구원) ;
• 이연희 (한국과학기술 연구원) ;
• 김영우 (한양대학교 물리학과) ;
• 임현의 (한국과학기술 연구원) ;
• 김곤호 (한양대학교 물리학과) ;
• 김옥경 (한양대학교 물리학과)

• Published : 1999.02.01