Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유도 결합형 플라즈마를 이용한 AlGaN 및 InGaN 식각 특성

  • 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재원 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
  • 김태일 (삼성종합기술원 광반도체 연구실)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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