Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1999.02a
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- Pages.173-173
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- 1999
FIB를 이용한 상온동작 SET 제작 및 I-V 특성 측정
- 추동철 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
- 심재환 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
- 오현주 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
- 김영권 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
-
최은하
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실)
;
- 서윤호 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
-
조광섭
(광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실)
;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실)
- Published : 1999.02.01
Abstract
Keywords