Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

SBT 박막의 AES 정량화 및 Ar Ion damage에 의한 $Bi_xO_y$구조의 Reduction에 관한 연구

  • 박윤백 (현대전자산업주식회사, 메모리 개발연구소) ;
  • 허성 (현대전자산업주식회사, 메모리 개발연구소) ;
  • 김재영 (현대전자산업주식회사, 메모리 개발연구소) ;
  • 민경열 (현대전자산업주식회사, 메모리 개발연구소) ;
  • 이순영 (현대전자산업주식회사, 메모리 개발연구소)
  • Published : 1999.07.01
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Abstract

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