Development of TCAD calibration methodology for ESD simulation and TLP measurement analysis

ESD 시뮬레이션과 TLP 측정해석을 위한 TCAD calibration methodology 개발

New methodology of parameter calibration is proposed for TCAD simulation of nMOSFET in ESD(Electro-Static Discharge) protection circuits. Recently, TLP(Transmission Line Pulsing) measurement has received great interest due to the ability of analyzing device characteristics when ESD pulse is applied to the ESD pulse is applied to the ESD protection circuits. This paper describes new methodology of analyizing TLP measurement, TCAD simulation, and parameter calibration.

ESD(Electro-Static Discharge) 보호회로용 nMOSFET에 대하여 TCAD 시뮬레이션을 수행하기 위한 새로운 parameter calibration 방법론을 제안하였다. ESD 특성 측정방법의 하나인 TLP (Transmission Line Pulsing)측정을 이용하는 경우, ESD 입력에 대하여 시간변화에 따른 소자의 특성을 파악할 수 있기 때문에 최근 많은 관심을 받고 있다. 본 논문에서는 TLP 측정의 해석방법과 TCAD simulation, 그리고 parameter calibration의 방법론을 제시하였다.