Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.11c
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- Pages.527-529
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- 1999
Design of a Lead-Lag Compensator for Precise Position Control of Piezoelectric Actuators
압전 구동기의 정밀 위치 제어를 위한 진상-지상 보상기의 설계
- Park, Seung-Man (School of Electrical Engg. Kookmin University) ;
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Ahn, Hyun-Sik
(School of Electrical Engg. Kookmin University)
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Kim, Do-Hyun
(School of Electrical Engg. Kookmin University)
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Song, Joong-Ho
(Intelligent System Control Research Center, KIST)
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Choy, Ick
(Intelligent System Control Research Center, KIST)
- 박성만 (국민대학교 전자공학부) ;
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안현식
(국민대학교 전자공학부)
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김도현
(국민대학교 전자공학부)
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송중호
(한국과학기술연구원 지능제어연구센터)
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최익
(한국과학기술연구원 지능제어연구센터)
- Published : 1999.11.20
Abstract
본 논문에서는 압전 구동기의 모델링과 진상-지상 보상기를 이용한 정밀 위치 제어 시스템을 제안한다. 최근 압전 구동기는 고속, 고정밀도가 요구되는 분야에 널리 응용되고 있으나 압전 소자의 히스테리시스 현상으로 인하여 폐루프 제어가 어렵다. 압전 구동기는 개루프 제어 특성이 우수하지만 최근의 X-Y 스테이지나 반도체 공정과 같은 높은 정밀도가 요구되는 작업에서 필요한 성능을 얻기 위해서는 폐루프 제어가 수행되어져야 한다. 따라서 위치 피드백을 이용한 폐루프 제어를 위해 선형 압전 이론으로부터 압전 구동기의 모델링을 정립하고 이 모델로부터 진상-지상 보상기를 설계하며 제어기의 성능을 검토하기 위하여 모의 실험 결과를 보인다.
Keywords