대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

Porous Si을 이용한 UV Detector

UV Detector with Porous Si

  • 발행 : 2000.07.17
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초록

본 논문에서는 Porous Si(PSi)의 Photoluminescence(PL)특성을 이용한 UV detector를 이론적으로 고찰하곤 제작하였다. PSi의 PL에 의해 발생하는 빛의 피크 파장과 photodiode의 흡수영역을 최적화하여 UV detector의 효율을 극대화 시켰다. 제작된 PSi detector는 기존의 Si에 비해 반응 표면적을 증가시킬 수 있다는 장점이 있어 optical biosensor에 응용이 기대 된다.

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