FEA를 이용한 Cold Cathode Lamp의 제작 공정 연구와 그 응용성

The Application and Fabrication Process of Cold Cathode Lamp Using a FEA

본 연구에서는 냉음극 발광 소자인 FEA를 이용하여 Cold Cathode Lamp 제작과 그 구조에 대해서 연구하였다. Anode plate에는 ZnO:Zn 형광체를 전기영동법으로 증착한 후 tube slabs와 anode plate를 frit glass를 이용하여 접합하였다. FEA와 substrate의 bonding, addressing을 위한 wire bonding, substrate와 집속전극, setter를 stem base의 외부전극에 연결하기 위한 spot welding, tube와 stem base를 glass melting method로 접합 공정을 하였다. 진공배기 시스템에 배기판을 연결하여 ${\sim}10^{-7}$torr까지 배기한 후 heater를 이용하여 배기관을 tip-off하였다. 최종적으로 진공을 유지하기 위해 getter를 RF 고주파로 활성화하였다. 결론적으로 lamp외 특성을 비교분석한 후 휘도 및 발광효율을 향상시키기 위한 구조절 개선과 방안을 고찰하였다.