Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Structural determination of Fe-Zr-B-Ag Soft Magnetic Thin Films

Fe-Zr-B-Ag 연자성 박막의 제조 및 구조분석

  • Min, B.K. (Advanced Electrical Materials Group, KERI) ;
  • Lee, W.J. (Advanced Electrical Materials Group, KERI) ;
  • Song, J.S. (Advanced Electrical Materials Group, KERI) ;
  • Heo, J.S. (Advanced Electrical Materials Group, KERI) ;
  • Kim, H.S. (Advanced Electrical Materials Group, KERI)
  • 민복기 (한국전기연구소 신소재응용연구그룹) ;
  • 이원재 (한국전기연구소 신소재응용연구그룹) ;
  • 송재석 (한국전기연구소 신소재응용연구그룹) ;
  • 허정섭 (한국전기연구소 신소재응용연구그룹) ;
  • 김현식 (한국전기연구소 신소재응용연구그룹)
  • Published : 2000.07.17
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Abstract

MHz영역에서 사용 가능한 Fe계 연자성 재료를 초미세 결정립으로 제조하기 위해 $Fe_{93}Zr_{3}B_4$ 박막을 기본조성으로 하여 Fe와 비고용이며 약반자성인 Ag 원소를 0, 3, 4, 5, 6, 10 at.% 첨가시킨 $Fe_{93-x}Zr_{3}B_{4}Ag_{x}$ 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조하였다. 그리고, 300-600$^{\circ}C$ 온도 범위에서 1시간동안 열처리한 후 강제공냉법으로 냉각한 후 XRD를 이용하여 열처리 온도 및 Ag 첨가량에 따른 결정상 동정을 조사하였다. Ag가 첨가되지 않은 $Fe_{93}Zr_{3}B_4$ 박막의 경우 $\alpha$-Fe의 (110) 피크만 관찰되었다. Ag가 첨가된 경우에는, Ag의 양이 증가함에 따라 $\alpha$-Fe 결정상의 형성이 억제되고, 비정질형태의 broad한 ${\alpha}-Fe_{(110)}$ 피크와 Ag피크가 관찰되었다. Ag가 첨가된 As-deposited 시편을 열처리 할 경우 박막의 비정질화로 주 peak인 $\alpha$-Fe 피크의 강도가 현저히 낮아지고 상대적으로 Ag peak가 두드러졌다. Ag의 양이 3a/o인 경우는 열처리온도 400$^{\circ}C$이상에서 박막의 결정화로 $\alpha$-Fe Peak가 나타나고 상대적으로 Ag 구성원소의 피크의 강도는 현저하게 낮아졌다 또한. Ag의 양 증가할수록 As-deposited 박막 내에 Ag 구성원소외 피크의 강도는 증가하여 $\alpha$-Fe와 Ag가 서로 비고용 상태로 서로 혼재되어 있었다.

Keywords