유리 II 실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구

Study on the Glass II Si Wafer Direct Bonding

  • 민홍석 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주영창 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 재료공학과) ;
  • 이진우 (서울시립대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.05.01