마이크로파 플라즈마화학증착에 의한 보론 혼입된 다이아몬드 박막에 제조

• 이상운 (명지대학교 화학과) ;
• 정영리 (명지대학교 화학과) ;
• 윤천호 (명지대학교 화학과) ;
• 정원중 (기술표준원 광전재료과) ;
• 박정일 (기술표준원 광전재료과) ;
• 노재민 (기술표준원 광전재료과) ;
• 박광자 (한국화학시험연구원)

• 발행 : 2000.11.01

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