한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.21-24
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- 2000
고밀도 $Cl_2$ /Ar 플라즈마를 이용한 $YMnO_3$ 박막의 식각 특성에 관한 연구
A Study on the Etching Characteristics of $YMnO_3$ Thin Films in High Density $Cl_2$ /Ar Plasma
초록
Ferroelectric YMnO