Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.394-397
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- 2001
The study of the properties of PZT thin films deposited on Ru/RuO$_2$ electrode
Ru/RuO$_2$ 이중 전극위에 성장한 PZT 박막의 특성에 관한 연구
- Choi, Jang-Hyun ;
- Kang, Hyun-Il ;
- Park, Young ;
- Song, Joon-Tae
- 최장현 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과) ;
- 강현일 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과) ;
- 박영 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과) ;
- 송준태 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과)
- Published : 2001.11.01
Abstract
In this paper, in-situ deposited Ru/RuO