Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Microstructure and stress evolution of boron nitride thin film with varying the substrate bias

기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력 변화

  • 김홍석 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 최인훈 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 백영준 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2001.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords