Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Deposition of $La_2O_3$ thin film using DLI-MOCVD and evaluation of Precursors

DLI-MOCVD를 이용한 $La_2O_3$ 박막의 증착과 전구체 평가

  • 강상우 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • Published : 2001.11.01
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Abstract

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