한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터의 성장조건에 따른 LiPON 박막전해질의 특성

Characteristic of LiPON thin film electrolyte depnding on growth condition grown by RF magnetron sputter

  • 송근만 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과) ;
  • 안광순 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과) ;
  • 안효진 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과) ;
  • 문수진 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과) ;
  • 김우성 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과) ;
  • 성영은 (광주과학기술원(K-JIST) 신소재공학과)
  • 발행 : 2001.11.01
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