한국결정학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference)

한국결정학회 2001년도 정기총회 및 춘계학술대회연구발표회(한국결정학회)
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Pages.27-27
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2001

한국결정학회 (Korean Crystallographic Association)

권호 표지

초크랄스키 실리콘 단결정에서 질소 첨가가 성장 결함 형성에 미치는 영향

Effect of nitrogen doping on the formation of grown-in defects in the Cz-Si single crystals

박봉모 (LG 실트론 연구소) ;
최일수 (LG 실트론 연구소) ;
이홍우 (LG 실트론 연구소) ;
이동건 (LG 실트론 연구소) ;
유학도 (LG 실트론 연구소)

발행 : 2001.05.01

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