Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2001.06a
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- Pages.6-7
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- 2001
The deposition and a study on the mechanical properties of the multilayer TiN/(Ti,Al)N coatings by plasma enhanced chemical vapor deposition
플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords