Unbalanced magnetron을 이용한 Titanium Nitride 박막합성에 관한 연구

  • 정민재 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
  • 김용모 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
  • 이호영 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술센터)
  • 발행 : 2001.02.22