ECR-PECVD로 증착된 a-C:H 박막의 열처리 효과

• 손영호 (포항산업과학연구원) ;
• 정우철 (포항산업과학연구원) ;
• 정재인 (포항산업과학연구원) ;
• 황도원 ((주)알파플러스) ;
• 김인수 (경운대학교) ;
• 배인호 (영남대학교)

• Son, Yeong-Ho ;
• Jeong, U-Cheol ;
• Jeong, Jae-In ;
• Hwang, Do-Won ;
• Kim, In-Su ;
• Bae, In-Ho

• 발행 : 2001.02.22

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