On-line FT-IR monitoring을 통한 $Si_{3}N_{4}$ 챔버 세정 후 배출된 PFC 가스에 관한 연구

• Kim, Gi-Jun ;
• Kim, Gi-Su ;
• O, Byeong-Hyeon ;
• Bae, Jeong-Un ;
• Yeom, Geun-Yeong ;
• Lee, Nae-Eung

• 김기준 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 김기수 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 오병현 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이내응 (성균관대학교 재료공학과)

• Published : 2001.02.22

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