유도결합형 $BCl_{3}$ 및 $BCl_{3}/Cl_{2}$ 계 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식식각 연구

• Jeong, Chang-Hyeon ;
• Seong, Yeon-Jun ;
• Yeom, Geun-Yeong ;
• Gwak, Jun-Seop ;
• Chae, Su-Hui ;
• Park, Yong-Jo

• 정창현 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 성연준 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 곽준섭 (삼성종합기술원 질화물반도체팀) ;
• 채수희 (삼성종합기술원 질화물반도체팀) ;
• 박용조 (삼성종합기술원 질화물반도체팀)

• Published : 2001.02.22

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