한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

Electrical and Structural Property of PEALD )$ZrO_2$ Gate Dielectric Depending on Annealing Temperature

전형탁 (한양대학교) ;
강계명 (서울산업대학교) ;
김양도 (한양대학교) ;
한지웅 (한양대학교) ;
구재형 (한양대학교) ;
최성우 (한양대학교)

발행 : 2002.05.01

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