Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.67-67
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of multilayer thin film by Nanoindentation and Scaning Probe Microscope

나노인덴테이션과 주사탐침현미경을 이용한 다층박막의 특성평가

김지수 (경남대학교 재료공학과) ;
김봉섭 (경남대학교 재료공학과) ;
권혁보 (경남대학교 재료공학과) ;
전병세 (경남대학교 재료공학과) ;
윤존도 (경남대학교 재료공학과) ;
고철호 (경남대학교 공동기기센터) ;
이홍림 (경남대학교 공동기기센터)

Published : 2002.05.01

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Abstract

Keywords