Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
- /
- Pages.126-126
- /
- 2002
Characterization of the Structural and Optical Features of nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Mechods
PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성 평가
Abstract
Keywords