한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성 평가

Characterization of the Structural and Optical Features of nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Mechods

  • 발행 : 2002.05.01
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