한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

PLD법을 사용하여 Si 기판에 에피성장시킨 강유전체 박막의 구조 및 전기적 특성 연구

Study on the electrical and structural properties of epitaxial ferroelectric thin films on Si by PLD method

김종훈 (성균관대학교) ;
김용성 (성균관대학교) ;
박배호 (건국대학교) ;
이재찬 (성균관대학교)

발행 : 2002.05.01

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