Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference (한국시뮬레이션학회:학술대회논문집)

The Korea Society for Simulation (한국시뮬레이션학회)
권호 표지

Conveyor Capability Simulation for Semiconductor Diffusion Area

반도체 Diffusion Area에서의 Conveyor Capability Simulation

  • 박일석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 한영신 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이칠기 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2002.05.01
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Abstract

92∼3년 A 라인에서 처음으로 Bay 내에 Conveyor (Intra) 사용한 Stocker to Equipment에서 Material(Lot) Moving을 위한 Project를 실시하였으나 예상과는 달리 Conveyor Capability가 부족하여 장비에서 Rundown 현상이 발생하였다. 정상적인 Simulation없이 Design한 Conveyor System은 막대한 금전투자, 인력투자, 설치Testing 철거 등으로 인한 라인 작업방해 등 막대한 손실을 남기는 실패를 가져왔다. 본 연구에서는 이미 장비가 Setup되어 Running중에 있는 반도체 라인 환경 또는 신규로 새로운 라인을 Design할 때 사람을 대신하여 Bay내에서 Lot을 Stocker에서 장비 또는 장비에서 장비로 이동을 Conveyer를 사용할 경우 적정 Conveyor Capability를 산정 하는데 그 목적이 있다.

Keywords