MEASUREMENT OF R, L, C CHIP DEVICES USING COAXIAL PROBE

  • Kim, Y. H. (Pukyong University) ;
  • E. C. Noh (Pukyong Universit) ;
  • K. H. Shin (Kyungsung Universit) ;
  • J. Y. Seo (Leeno Inc.)
  • Published : 2002.12.01

Abstract

전자기기의 소형화에 동반하여 동작주파수가 높아짐에 따라 여기에 이용되는 소자의 크기도 밀리 사이즈에서 마이크로 사이즈까지 작아지고 있다. 이에 따라 여기에 이용되는 각종 소자의 전기적인 값도 작아지고 있으며 허용 오차 값이 적은 정밀한 소자가 이용되고 있다. 그러나 소자의 크기와 소자값의 감소에 따라 정확하고 간편하게 그리고 많은 소자를 효율적으로 측정할 수 있는 방법이 필요하다. 특성 임피던스 50 $\Omega$을 가지는 동축선로형 프루브 제작에 대해 이미 검토하였다[1]. (중략)

Keywords