Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)

  • 2002.12a
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  • Pages.234-235
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  • 2002
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  • 2233-9485(pISSN)
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  • 2233-9574(eISSN)
The Korean Magnetics Society (한국자기학회)
권호 표지

Effect of buffer layer on the microstructure and magnetic properties of NdFeB thin films

NdFeB 박막의 자기적 특성 및 미세구조에 미치는 buffer layer의 영향

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  • G. A. Kapustin (Kurchatov Institut) ;
  • Published : 2002.12.01
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Abstract

NdFeB 박막자석은 Sputtering, MBE, Laser ablation법에 의해 제조되고 있으며[1-3] milli-size motor[4], magnetic recording media[5], micro-patterning[3]등에 응용될 수 있다. 최근에는 MEMS(Micro-electro mechanical system)분야에서도 잠재적 응용가능성을 지니고 있는 것으로 알려져 있다. 최근에는 NdFeB 박막 제조 시 자성층의 산화방지 및 자기 특성을 향상을 위하여 buffer layer를 이용한 많은 연구가 이루어지고 있다.[6] (중략)

Keywords