LS-MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장

  • 권현구 (한국화학연구원 화학소재연구부, 충남대학교 재료공학과) ;
  • 오영우 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
  • 박정우 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
  • 이영국 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
  • 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
  • 김도진 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 김윤수
  • Published : 2002.06.27