Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta-C/ta-C:Si 다층 박막에 관한 연구

  • 이철승 (한국과학기술연구원 미래기술본부, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술본부) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2002.06.27
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