TiCrN 박막의 산화기구

Oxidation mechanism of TiCrN coatings

  • 김재운 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술 연구센터) ;
  • 이동복 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술 연구센터)
  • 발행 : 2003.05.01