Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.77-77
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2003
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

CU CMP에서 화학 반응층의 기계적 특성에 관한 연구

김구연 (부산대학교) ;
박범영 (부산대학교) ;
김형재 (부산대학교) ;
정해도 (부산대학교)

Published : 2003.10.01

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