미세광학벤치를 이용한 열 가변 필터의 패키징

Micro-Optical Bench Packaging for Thermo-Optic Tunable Filter

  • 황병철 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터) ;
  • 박헌용 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터) ;
  • 이승걸 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터) ;
  • 오범환 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터) ;
  • 이일항 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 박세근 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로포토닉스 센터)
  • 발행 : 2003.07.01

초록

Tunable thermo-optic filter for WDM system was designed and fabricated. The basic structure of the filter was a Fabry-Perot resonator and the center cavity layer was poly-Si. Quardraple layers of low and high refractive index materials were used as DBR mirrors. Tuning and transmission efficiencies was measured and compared with the simulation results. Tuning range of 9.4 nm can be obtained by 64.7$^{\circ}C$ temperature changes and tuning efficiency was 0.144nm/K. The filter is to be assembled onto the micro optical bench with fiber optical path.

키워드