Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Silicon Fabry-Perot Tunable Filter for WDM Applications

WDM용 실리콘 파브리-페로 파장가변 필터에 관한 연구

  • 박수연 (수원대학교 전자공학과) ;
  • 길상근 (수원대학교 전자공학과)
  • Published : 2003.02.01
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Abstract

기존의 WDM용 실리콘 파브리-페로 파장 가변 필터의 경우는 E-beam 박막 증착이나 CVD 박막 증착법을 사용하여 두께 제어가 잘 이루어지지 않았고, 제작된 실리콘 파브리-페로 필터의 굴절율을 변화시키기 위한 패턴이 고가의 백금(Pt)으로 이루어졌다. 이에 수 nm로 박막 두께를 제어해보고, 고가의 백금이 아닌 저가의 물질을 이용하여 온도제어를 이루어 보고자 하였다. (중략)

Keywords