Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.07a
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- Pages.195-198
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- 2003
A Study of the Effect of Doping on FALC
도핑이 FALC에 미치는 영향에 관한 고찰
- Ahn, Ji-Su (Seoul National Uni.) ;
- Joo, Seung-Ki (Seoul National Uni.)
- Published : 2003.07.10
Abstract
본 연구에서는 MILC 및 FALC를 도핑 타입에 따른 온도별 패턴별 인가 전압별로 진행하여 현미경 및 FESEM 관찰을 함으로써 그 메커니즘을 규명하고자 하였다. LPCVD를 이용하여