$1.55{\mu}m$용 진행파형 전계 흡수 광 변조기의 마이크로파 특성분석과 제작

Fabrication and analysis of traveling-wave electroabsorption modulator for $1.55{\mu}m$ operation

  • 옥성해 (광전자 및 광통신 연구실, 중앙대학교) ;
  • 구민주 (광전자 및 광통신 연구실, 중앙대학교) ;
  • 최영완 (광전자 및 광통신 연구실, 중앙대학교)
  • Ok Seong-Hae (Lab of optoelectronics and optical communication, Chung-Ang University) ;
  • Koo Min-Ju (Lab of optoelectronics and optical communication, Chung-Ang University) ;
  • Choi Young-Wan (Lab of optoelectronics and optical communication, Chung-Ang University)
  • 발행 : 2003.08.01

초록

본 논문에서는 진행파형 전계 흡수 광 변조기를 3차원 FDTD를 이용하여 도파관의 폭과 진성영역의 두께 그리고 N-도핑층의 도핑수준을 변화시키면서 최적화된 구조를 설계하였다. 제작된 소자의 구조는 진성영역의 두께는 $0.9{\mu}m$, 도파관의 폭은 $6{\mu}m$이며 전체 소자의 길이는 $700{\mu}m$ 이다. 제작된 소자의 마이크로파 특성을 측정하였으며 마이크로파 특성과 광 특성을 사용하여 주파수 응답특성을 추정하였다. 소자의 길이가 $400{\mu}m$ 일 때 17.8 GHz의 주파수 응답특성을 얻었다.

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