고분자 광도파로용 핫엠보싱 마스터의 표면거칠기 최소화를 위한 열산화 영향

  • 최춘기 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 광접속모듈팀) ;
  • 정명영 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 광접속모듈팀)
  • 발행 : 2003.08.20